【メーカー】
●アルバック機工(株)

【特長】
●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
●装置組込みに適したコンパクトサイズです。
●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、真空槽内への油の汚染がありません。
●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
●大気圧からの作動が可能です。
●内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易です。

【用途】
●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
●リークディテクタ。

【仕様】
●排気速度(L/min)50/60Hz:30/36
●到達圧力(Pa):0.67
●電源(V):単相200-240
●寸法(mm):120×288.5×163
●騒音値(dB):-
●吸気口径:KF-16
●サーマルプロテクタ付
●使用油:R-2
●TUV・cTUVus認証取得品

【注意】
●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
●排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。

【質量】
●9.3KG